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熱制御デバイス

半導体・デバイスエネルギー工業用製品・材料

セラミックスヒータ(半導体製造装置用ヒータ)

セラミックスヒータ(半導体製造装置用ヒータ)

独自の高機能材料技術、メタライズ、接合、封止等のプロセス技術および熱設計技術を組み合わせることにより、各種熱特性に優れた熱制御デバイスを提供します。
本技術を応用した半導体製造装置用ヒータは、優れた面内均熱性や急速昇降温特性を有しています。

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