半絶縁性基板
（350KB）Standard Specifications
Notes
（＊1） VB：Vertical Boat
（＊2） High Precision OF（±0.02°）is available.
（＊3） EW：Etched Wafer
（＊4） LPD：Light Point Defects
Attached Data
- Standard
- ：
- Resistivity・Mobility・Diameter・OF・IF・Thickness （min.～max.）
EPD Map
- Option
- ：
- Accuracy of Orientation・Flatness・Light Point Defects