n型基板
（217KB）Standard Specifications
Notes
（*1） High Precision OF(±0.02°) is available.
（*2） EW : Etched Wafer
（*3） LPD : Light Point Defects
Attached Data
- Standard
- ：
- Resistivity・Mobility・Diameter・OF・IF・Thickness （min.～max.）
EPD Map
- Option
- ：
- Accuracy of Orientation・Flatness・Light Point Defects